推动国产半导体设备赶超世界先进水平 中微董事长的创新之路

在科创板上市的中微公司（AMEC）董事长兼总经理尹志尧博士，曾作为半导体设备行业的代表，在科技创新的展厅里与习近平总书记合影。这张照片不仅是对他个人和企业的认可，更是对中国半导体设备产业寄予的厚望。尹志尧和他的团队正以只争朝夕的精神，推动国产刻蚀设备等关键装备赶超世界先进水平，为中国集成电路产业的自主可控贡献力量。

从零起步，打破垄断

半导体设备是集成电路产业的基石，其技术难度高、研发周期长、投资巨大。长期以来，全球高端刻蚀设备市场被少数国际巨头垄断。2004年，已经60岁的尹志尧毅然回国创业，在上海创办了中微公司。他带领团队从零开始，专注于等离子体刻蚀设备的研发。经过多年攻坚，中微成功开发出针对先进工艺的刻蚀设备，不仅在国内领先，更打入海外一流芯片生产线，实现了中国高端半导体设备“零的突破”。

持续创新，赶超世界先进

刻蚀机是芯片制造三大核心设备之一，其精度要求极高。中微公司坚持自主创新，在介质刻蚀、硅刻蚀等领域形成了完整的产品布局，并持续向更先进的工艺节点迈进。其自主研发的电容耦合等离子体（CCP）和电感耦合等离子体（ICP）刻蚀设备，已广泛应用于65纳米到5纳米及更先进工艺的芯片加工，部分技术指标达到国际领先水平。公司还积极布局MOCVD设备，在氮化镓基LED和功率器件领域占据市场优势。尹志尧表示：“我们不仅要填补国内空白，更要挑战世界最前沿，让中国的半导体设备在全球产业链中占据应有位置。”

构建生态，协同发展

半导体设备国产化并非单一环节的突破，需要材料、零部件、工艺协同进步。中微公司积极扶持本土供应链，与国内高校、科研院所开展产学研合作，培养专业人才。公司通过科创板上市募集资金，加大研发投入，扩大产能，提升服务能力。尹志尧强调：“国产设备要走向世界，必须坚持开放合作，融入全球半导体生态，在竞争中提升自身实力。”

任重道远

当前，全球半导体产业格局深刻调整，中国集成电路产业既面临挑战，也迎来机遇。在习近平总书记的关怀和科技强国战略指引下，以中微公司为代表的国产设备企业正加速成长。随着5G、人工智能、物联网等新兴技术对芯片需求的拉动，刻蚀设备、薄膜沉积设备等关键装备的市场空间将进一步扩大。尹志尧带领的中微团队将继续发扬“闯”的精神、“创”的劲头、“干”的作风，聚焦客户需求，突破核心技术，向全球半导体设备第一梯队迈进。

从与总书记合影的那一刻起，尹志尧更感责任重大。他常说：“我们这一代人的使命，就是让中国的半导体设备不再受制于人。”在愈发激烈的国际科技竞争中，中微公司正以实际行动诠释着国产装备的自立自强，用创新驱动书写中国半导体产业发展的新篇章。